近年来发现，无油真空泵在机械真空泵和扩散泵抽真空系统中，少量的油蒸汽回流到泵浦容器或装置中由于油蒸气，降低了其发射性能和寿命，各种大功率和高压电子管，，严重影响了许多电子器件的性能和技术指标。例如，氧化阴极的电子管，由于油蒸气的存在，容易被分解;在无线电台中使用的高压真空电容器，由于存在系泊蒸汽，其电压指数显著降低，无油真空泵蒸气在许多地方，产生显著。不利影响。

　　因此,无油真空泵在这些方面需要更换使用的真空系统无油真空系统,即真空油封和真空油作为工作流体泵送工具(如机械泵、扩散泵)是不习惯,但是吸附泵和秦泵是用于获得所需的真空吸附的气体分子和减少压力容器。

　　在冷态下对气体进行强吸附，吸附泵是利用某些固体多孔表面，使封闭系统获得10- 2mm的低真空汞柱，它被用作前级无油系统。

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